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先需要檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,需要認真研究確定之。
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的真空度,因為系統(tǒng)的真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級泵的真空度低50%。
檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時需要考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。z
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